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Thermionics 旋转电子枪 蒸发源 真空组件

简要描述:Thermionics 旋转电子枪 蒸发源 真空组件
联系张经理:I8721862549

  • 产品型号:HCR系列
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-09-12
  • 访  问  量:65
产品分类PRODUCT

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Thermionics 旋转电子枪 蒸发源 真空组件

HCR系列旋转电子枪是一种全金属密封的电子枪,有3到8个坩埚版本,最多可连续沉积8种以上的材料。标准安装在外径为12英寸的CF法兰上,包括自动分度器和所有机械和电气连接。

HCR系列旋转电子枪主要特征:
可提供3至8个坩埚
270°光束偏转
多坩埚,旋转设计
可互换坩埚组件
长寿命发射器组件
易于更换灯丝
永磁梁定位
整体式扫掠线圈
提供底部或侧面驱动



HCR系列旋转电子枪技术参数:

FeatureSpecifications
最大功率10 kW
发射电压-6 to -10 kV
发射电流0 to 1 A
灯丝700 W
电子束偏转270°
光束光斑尺寸.25″ diameter, tight beam
蒸发率1 gram/min @ 10 kW
36,000 Å/min Al @ 10″ (250 mm) source-to-substrate distance
X and Y 扫描Longitudinal and lateral control up to 200 Hz when operated with Thermionics sweep controller
3 gpm, 20°C, 50 psi pressure differential
坩埚材质OFE copper
烘烤温度120°C (250°F)

HCR系列旋转电子枪安装配置
每个e-Gun 都有三种标准安装配置:
e-Gun™安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上,该法兰使用标准OFE铜垫片
e-Gun™配备直径为1英寸的螺栓式安装座,通过直径为1"的孔安装,并由压缩O型圈密封
e-Gun™单独使用,无安装法兰
请在下单时安装配置;成本可能不包括螺栓式或法兰式安装。

Thermionics 旋转电子枪 蒸发源 真空组件

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