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美国 Logosol 嵌入式预对准器 晶圆处理 LPA系列 LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P
480毫米的对象,具有任何透明度水平,从不透明到全透明。Logosol特别的一体化设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口。
美国 Logosol 嵌入式预对准器 晶圆处理 LPA系列 LPA38-3-V40E2-S23-S-V500PLogosol独立式预对准器:
自主设备,用于对45毫米至480毫米的对象进行高精度对准,包括正方形和双层基板,具有单元处理多种尺寸对象而无需机械重新定位、夹具负载和销负载模式以及高精度选项。
用于高速晶圆传输系统的成本效益的中心计算和角度定位设备,具有45毫米至480毫米对象的对准能力,并可轻松与市场上可用的任何机器人进行集成。提供高精度和夹具尺寸/材料选项。
Logosol多轴控制器 Logosol对准器 Logosol控制器 Logosol晶圆 Logosol晶圆处理平台 Logosol晶圆预对准器 Logosol预对准器 LPA LPA312-3 LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P LPA812-3 一体化设计 代理Logosol 分布式控制 分布式控制网络 嵌入式 数控 晶圆处理 晶圆预对准器 美国Logosol 边缘处理 预对准器
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