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Thermionics 3KW多坩埚旋转电子枪真空组件

简要描述:Thermionics 3KW多坩埚旋转电子枪真空组件
联系张经理:I8721868549(微信同号)

  • 产品型号:RCR系列
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-09-12
  • 访  问  量:75
产品分类PRODUCT

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详细介绍

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Thermionics 3KW多坩埚旋转电子枪真空组件

RCR 系列 3 kW 多坩埚旋转喷枪™


RCR 系列 3 kW 多坩埚旋转喷枪™

新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩埚旋转电子枪™提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描,坩埚覆盖,自动分度器(单独出售)提供自动定位功能。

特征

  • 真正的 XY 清扫,坩埚覆盖

  • 源附带的扫频线圈

  • 增强的光束准直

  • 插件发射器模块

  • 增强的高稳定性冷却

  • 交叉污染屏蔽

  • 坚固的设计

  • 可选的自动索引器

多坩埚 e-Gun 的工作原理与单坩埚源相同,具有以下优点:

  • 蒸发剂供应量大 — 当每个坩埚都填充相同的源材料时,可以在单个真空循环中蒸发增加的蒸发剂体积。

  • 在一个真空循环中沉积多达八种不同的材料 — 可以在一个真空循环中将不同的材料放入每个坩埚中,并按任何顺序沉积。沉积速率与单个坩埚模型的沉积速率相同。一次只加热一个坩埚。单丝保持静止,坩埚头由驱动手柄分度到位。因此,蒸发总是来自真空室中的相同的位置。非活性坩埚通过磁极片与加热的坩埚隔开,从而消除了坩埚之间的污染。

兼容高真空

金属和弹性体密封件,测量的基压:2 x 10-9托。

可互换坩埚

主坩埚轮可以从源的顶部拆下,而无需拆卸源。这种灵活性允许现场升级。

所有多坩埚电子喷枪都可以安装在更大直径的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法兰上,单个或背对背。

规格

工作压力低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择
光束电压4,000 伏
束流0–750 mA 连续可变
最大功率3,000 瓦
冷却水1.5 加仑/分钟
最大烘烤温度120°C (150°F)
坩埚体积2.24 cc x 4、6 或 8 个坩埚

安装配置

每个 e-Gun™ 都提供三种标准安装配置:

  • e-Gun™ 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上,使用标准 OFE 铜垫圈

  • e-Gun™ 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座,可通过 1 英寸直径的孔安装,并由压缩 O 形圈密封

  • 单独使用 e-Gun™,无需安装法兰

请在下订单时安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。

通常提供其他安装法兰、配置和几何形状,请致电工厂了解更多信息。

型号坩埚
RCR0304-SD4
RCR0304-BD4
RCR0306-SD6
RCR0306-BD6
RCR0308-SD8
RCR0308-BD8

注意:SD 表示侧驱,BD 表示底驱



Thermionics 3KW多坩埚旋转电子枪真空组件

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