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荷兰 HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源

简要描述:荷兰 HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源
HVEE SO-100 大电流离子源是一种热丝潘宁放电源,用于从 BF3、PF5 (PF3)、SiF4 和 AsF5 等氟化气体中产生 B+、Si+、P+ 和 As+ 等离子。来自惰性气体以及 O2 等气体的光束也很容易产生。

  • 产品型号:SO-100
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-11-27
  • 访  问  量:271

详细介绍

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荷兰 HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源

HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源MODEL SO-100


High Voltage 热阴极潘宁离子源Model SO-100 主要特点
 易于操作和维护
 低功耗
 灯丝寿命长
 近光灯发射
 离子束来自惰性气体


荷兰 HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源 概述 

HVEE SO-100 大电流离子源是一种热丝潘宁放电源,用于从 BF3、PF5 (PF3)、SiF4 和 AsF5 等氟化气体中产生 B+、Si+、P+ 和 As+ 等离子。来自惰性气体以及 O2 等气体的光束也很容易产生。
放电由热钨丝发射的电子和电弧电源维持,电弧电源将电子加速进入等离子体区域,在那里它们用于电离和分解原料气中的分子。螺线管产生一个磁场,该磁场由源内的软铁形成,用于限制等离子体。从等离子体边界开始,离子被提取区域的电场提取,形成低发散的离子束。
每个 SO-100 离子源都包含满足第一需求的备件。


High Voltage Engineering Europa B.V. 提供的其他类型的 pening 离子源包括:
– SO-60 型冷阴极潘宁离子源 – SO-90 型溅射潘宁离子源

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