DAEIL 隔振平台电子显微镜内置主动隔振系统

无噪声的纳米级成像

亚赫兹隔振性能

DVIA-M 系列嵌入主动振动控制算法，
可在六个自由度下提供 1 Hz 时 50% – 80% 的隔振效果，在 2 Hz 时提供 90% 的隔振效果。

内置主动隔振系统

DVIA-M 主动隔振器设计为纳米级成像设备（如电子显微镜）的内置主动隔振系统

反馈和馈送控制算法

DVIA 系列使用反馈控制算法连续检测干扰隔离
表面的振动，并立即做出反应以实时减少振动。DVIA 系列采用前馈控制算法
，在地板振动传递到安装在主动隔振系统上的设备之前，提前过滤掉地板振动
。

所有六个自由度的
主动隔振

DVIA 系列控制三个平移度
（X、Y 和 Z）和三个旋转度（俯仰、滚动和偏航）的振动。

DAEIL 隔振平台电子显微镜内置主动隔振系统

DAEIL SYSTEMS高级气动隔振器 DVIM-G 系列:

DVIM-G 系列是一种优良的气动隔振器，设计用于在其他气动隔振器中提供隔振性能、最高的阻尼水平和最快的有效载荷稳定时间。
在其他气动隔振器中，DVIM-G 系列具有隔振性能、最高的阻尼水平和最快的有效载荷沉降时间。

隔振性能
DVIM-G 系列采用特殊的机械滤波器系统隔振器设计，尽可能降低共振频率，从而有效减少地面振动，在 5 Hz 时可提供 80% – 90% 的隔振效果。

双室隔离系统
DVIM-G 系列的双室系统由一个空气室和一个阻尼室组成。
由两个孔口连接：可变孔口和内部孔口。可变孔口位于气室外部，内部孔口位于气室内部。
内孔位于腔体内。这些孔口控制腔室之间的气流，以提高
阻尼效率，并缩短其沉降时间。当阶段加速的高力发生时，气室
产生恢复力，空气通过气孔流入阻尼室。这些气孔会耗散空气中的能量
空气中的能量，从而有效地对系统进行阻尼。

高性能水平调节阀
标准水平调节阀的重复精度为 ±0.1 mm，精密水平调节阀的重复精度为 ±0.05 mm。
如果对重新找平精度和沉降时间都有要求，建议使用精密找平阀。

DAEIL SYSTEMS高级气动隔振器 DVIM-G 系列

5 Hz 时的隔振率为 80 – 90
(无阻尼器）