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瑞士IDONUS 湿法刻蚀晶圆夹具

简要描述:关于瑞士IDONUS 湿法刻蚀晶圆夹具
瑞士idonus是一家专注于微型工程行业专业设备设计和制造的微技术公司。核心竞争力有:MEMS设备(MicroElectroMechanical Systems)、离子注入 机器视觉和光学解决方案、光伏设备、工程服务和原型或小批量生产

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-08-18
  • 访  问  量:307
产品分类PRODUCT

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品牌其他品牌产地类别进口
应用领域环保,化工,电子,电气,综合

瑞士IDONUS 湿法刻蚀晶圆夹具


关于瑞士IDONUS 湿法刻蚀晶圆夹具

瑞士idonus是一家专注于微型工程行业专业设备设计和制造的微技术公司。核心竞争力有:MEMS设备(MicroElectroMechanical Systems)、离子注入 机器视觉和光学解决方案、光伏设备、工程服务和原型或小批量生产

产品描述

VPE由反应室和盖子组成。加热元件集成在盖子中。它控制要蚀刻的基板的温度。晶圆夹持可以通过两种方式实现:晶圆可以通过使用夹紧环进行机械夹紧。拧紧是从设备的背面完成的,该背面从不与 HF 蒸汽接触。3 个螺母易于戴防护手套处理。另一种选择是静电夹紧。单个芯片(长度超过 10 毫米)和晶圆可以夹在加热元件上。晶圆的背面受到保护,不会被蚀刻。

液态HF被填充到反应室中。反应室用盖子封闭。HF蒸气在室温下产生,蚀刻过程自发开始。蚀刻速率由晶圆温度控制,晶圆温度可在 35°C 至 60°C 之间调节。 处理后,酸可以储存在储液罐中,以便在可密封的容器中重复使用。
液体输送只需用手柄降低连通储液罐即可完成。由于重力作用,酸流入储层,可以通过两个阀门关闭。通过打开阀门并抬起手柄来重新填充反应室。酸流入反应室。酸可以重新用于多次蚀刻,直到必须更换。
VPE系统占地面积小,可以很容易地集成到现有的流箱中。




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