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| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,生物产业,石油,制药/生物制药,综合 |
代理LOGOSOL 预对准器 光学仪器
联系张经理：i872i868549 (微信同号)
美国LOGOSOL预对准器是一种高度集成的设备，主要用于半导体制造过程中的晶圆预对准。预对准器通常集成在更大的设备或系统中，如涂胶机、光刻机、薄膜沉积设备和刻蚀设备等，用于在工艺开始前对晶圆进行快速、精确的对准。
LOGOSOL预对准器系列包括多个型号，每个型号都有其特定的应用场景和技术特点：
LPA26-3：适用于小尺寸晶圆的高精度对准。
LPA38-3：适用于中等尺寸晶圆的高效对准。
LPA58-3：适用于大尺寸晶圆的高精度对准。
LPA312-3：适用于超大尺寸晶圆的对准。
LPA812-3：适用于特大尺寸晶圆的高精度对准。
LPA1218-3：适用于超大型尺寸晶圆的对准。
这些预对准器支持从45毫米到480毫米的各种尺寸晶圆，适用于不同的工艺需求。
LOGOSOL预对准器的技术特点包括：
高度集成：节省空间，与主设备共享控制系统，实现无缝对接。
高精度：适用于高精度工艺，确保晶圆中心和晶向的精确对准。
多功能控制软件：支持与各种半导体平台的兼容性和接口。
快速定位：在高速生产线中实现快速、精准的晶圆定位。
LOGOSOL预对准器广泛应用于以下半导体设备中：
：在光刻工艺前确保晶圆中心和晶向的精确对准。
涂胶显影设备：在涂胶和显影过程中保证晶圆位置的一致性。
薄膜沉积设备：在沉积工艺前确保晶圆与反应腔体的对准。
刻蚀设备：在刻蚀工艺中保证晶圆位置和角度的精确对准。
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