Logosol 边缘与预对准器 巡边台 光学仪器

Logosol 边缘与预对准器 巡边台 光学仪器

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Logosol经久考验的技术和高可靠性的标准是其广泛系列预对准器的基础。Prealigners产品家族支持处理45mm至480mm范围内的物体，无论其透明度从不透明到透明。Logosol独特的集成设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口。

📦 二、主要产品系列及型号

LOGOSOL预对准器按应用场景分为三大系列：

1.LOGOSOL 边缘处理系列（Edge-Grip）

• 技术特点：

• 被动边缘接触技术，零机械应力，避免晶圆损伤。

• 支持透明度从不透明到全透明的晶圆1。

• 适用尺寸：75mm–300mm晶圆。

• 典型型号：
  LPA6EH-3, LPA8EH-3, LPA68EH-3, LPA8ET-3, LPA12ET-3, LPA812EH-3。

• 应用场景：碳化硅/氮化镓晶圆制造、高洁净度要求的化合物半导体生产线。

2. LOGOSOL独立式系列（Standalone）

• 技术特点：

• 单机处理方形、双层基板及圆形晶圆，支持45mm–480mm超大尺寸范围。

• 无需机械重定位，通过软件切换尺寸，提升柔性生产效率。

• LOGOSOL典型型号：
  LPA26-3, LPA38-3, LPA58-3, LPA312-3, LPA812-3, LPA1218-3。

• 应用场景：研发实验室、多尺寸晶圆试产线、光伏基板定位。

3. LOGOSOL嵌入式系列（Embedded）

Logosol 边缘与预对准器 巡边台 光学仪器

• 技术特点：

• 专为高速晶圆传输系统优化，低成本集成中心计算与角度定位功能。

• 提供高精度选件及定制夹具尺寸，兼容主流工业机器人。

• LOGOSOL典型型号：
  LPA25-1E, LPA38-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E。

• 应用场景：半导体量测设备（如日立CD-SEM）、自动化晶圆搬运系统改造

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